Độ phân giải của kính không bị giới hạn do hiện tượng nhiễu xạ, mà chỉ bị giới hạn bởi kích thước của tương tác giữa đầu dò và mẫu, có thể nhỏ tới cấp picomet (10−12 m).
Tương tác giữa mũi dò và mẫu được sử dụng làm một công cụ thao tác trên bề mặt, nhằm tạo ra các chi tiết nhỏ trong công nghệ nano (đây là kỹ thuật nanolithography - điêu khắc nano).
